Miniatuurvacuümpompen zijn pompen die gas als primair werkmedium gebruiken. Ze zijn geschikt voor langdurig stationair draaien en droogbedrijf. Ze creëren een vacuüm (negatieve druk) door een membraan aan te drijven en zo gas aan te zuigen en af te voeren via een motor-aangedreven heen en weer gaande beweging. Deze apparaten zijn voorzien van zowel zuig- als uitlaatmondstukken. Gespecialiseerde modellen omvatten zuig-/expansie- en water-/gasmodellen voor twee doeleinden, om zich aan te passen aan verschillende bedrijfsomstandigheden.
Kerncomponenten zijn onder meer de membraanpomp en de vacuümregelaar. Een typisch product is de Busch RA0020F (pompsnelheid 20 m³/h, einddruk 0,1 mbar). De technologische ontwikkeling richt zich op miniaturisatie, energie-efficiëntie en intelligentie, waarbij magnetische levitatietechnologie, olie-vrije smeertechnologie en milieuvriendelijk ontwerp worden geïntegreerd. Belangrijke toepassingen zijn onder meer medische apparatuur (afzuigapparatuur, ventilatoren), milieumonitoring, de productie van halfgeleiders en de nieuwe energie-industrie. De omvang van de binnenlandse markt zou in 2024 naar verwachting 5 miljard yuan bereiken.